現(xiàn)代社會(huì)里,氣體是不可或缺的一個(gè)重要組成部分。在衣食住行的各個(gè)環(huán)節(jié),幾乎都離不開(kāi)氣體。以芯片制造廠為例,他們?cè)谏a(chǎn)芯片的薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積和擴(kuò)散過(guò)程中,就少不了電子氣體。不同領(lǐng)域?qū)怏w的要求不一樣,給供應(yīng)商提出了極高的技術(shù)要求。在發(fā)展多年之后,全球的氣體供應(yīng)以四大供應(yīng)商主導(dǎo),分別是林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣集團(tuán)、普萊克斯和空氣產(chǎn)品公司。
2017年全球四大氣體巨頭營(yíng)業(yè)利潤(rùn)及營(yíng)業(yè)利潤(rùn)率對(duì)比(單位:億歐元)
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氣體如此重要,甚至連它們的提取、儲(chǔ)存、運(yùn)輸和轉(zhuǎn)充都給人帶來(lái)了極大的神秘感。為了對(duì)這個(gè)產(chǎn)業(yè)有更多的了解,半導(dǎo)體行業(yè)觀察記者近日走訪了林德集團(tuán)在中國(guó)的幾家工廠,為大家揭開(kāi)其神秘的面紗。
空氣分離裝置是根本
行內(nèi)的人都知道,林德集團(tuán)創(chuàng)始人卡爾林德的一大貢獻(xiàn)就是發(fā)明了空氣液化分離。
公開(kāi)資料顯示,1895年,德國(guó)人卡爾·林德研究成功了一次節(jié)流循環(huán)液化空氣的方法,這是簡(jiǎn)單的深度冷凍循環(huán)。它采用節(jié)流膨脹和逆流換熱,稱為林德循環(huán)。1902年,德國(guó)林德公司制成了第一套林德循環(huán)單級(jí)精餾工業(yè)裝置,自此開(kāi)始了林德集團(tuán)在氣體領(lǐng)域的偉大征程。